半導体業界の生産設備を改善した事例Q&A

はい、フッ素樹脂コーティングは半導体製造装置の耐薬品性を飛躍的に高め、部品の腐食や劣化を防止します。酸・アルカリなど腐食性の強い薬液に対してもフッ素樹脂被膜が長期にわたり装置を保護するため、部品交換や保守頻度を低減でき、製造ラインのダウンタイム短縮に寄与します。
吉田SKTのコーティングを適用することで装置部品の寿命が延び、プロセスの安定性・効率が向上し、最終製品の品質安定にもつながった例があります。

はい、非粘着性に優れるフッ素樹脂コーティングは、装置部品表面への異物付着を防ぎ、工程の清浄度を高く維持するのに有効です。
例えば、ウエハー搬送装置にコーティングを施すと、搬送中に発生する微小な粉塵や薬液の飛沫が部品に付きにくくなり、歩留まりの向上が期待できます。また、コーティングにより表面が平滑かつ低摩擦になるため、ウェハーや基板の搬送がスムーズになり機器動作の信頼性も向上します。
総合的に見て、半導体製造プロセスにフッ素樹脂コーティングを導入することは、装置の安定稼働と製品歩留まり改善に大きく貢献します。

吉田SKTの耐食性コーティングをメッキ治具に施すことで、メッキ工程における付着物の防止と治具の長寿命化が可能です。
ある電子基板用メッキ治具の事例では、コーティングによって治具表面へのメッキ金属の付着を防止し、製品の品質安定化とコストダウンを実現しました。耐薬品・耐食性に優れたフッ素樹脂被膜が治具を保護するため、腐食やメッキ剥がれによる不良を減らし、治具の交換頻度も下がっています。
これにより、製造ラインの安定稼働期間が延び、ランニングコストの低減につながります。

はい。粘着面に繰り返し接する部品は、用途ごとに非粘着性・耐摩耗性を狙った表面処理を組み合わせることで改善できるケースがあります。
実際に、巻き取りローラーには耐摩耗性と非粘着性に優れる「スーパーアロイコーティング」を、プッシャーには薄膜で非粘着性を付与できる「MRSコーティング」を適用し、溶射加工に比べて交換寿命を最大3倍まで延ばした事例があります。清掃・再調整の工数削減と、装置の安定稼働が期待できます。