テフロン™フッ素樹脂コーティング、表面処理で生産設備の効率をアップ
※画像はイメージです
表面処理の目的：
品質・稼働安定化 交換・材料コスト低減 スピードアップ
求められる機能：
非粘着・離型性
改善した設備・工程：
搬送
半導体用のシリコンウエハーを加工する際、外周部にマスキングテープを使用する場合があります。マスキングテープは糊残りしにくい粘着剤を使用していますが、テープを巻き取る装置では何度も粘着面に接するため、ローラーやプッシャーなどに粘着糊が付着し清掃や装置の再調整に時間がかかり、お困りでした。
お客様の設備では粘着糊の付着防止対策として、ローラーやプッシャーに溶射加工を採用されていました。溶射加工をすることで、表面が細かい凹凸になり粘着糊の付着をある程度防ぐことができましたが、しばらく使用すると糊の付着が起きてしまい、部品交換頻度において、お客様が満足されていませんでした。そのため、より非粘着性に特化した表面処理を探していました。
◎巻き取りローラーへの処理
◎プッシャーへの処理
吉田SKTでは、テープのくっつき防止に効果のある表面処理を部品ごとにご提案。ローラーには耐摩耗性と非粘着性に優れるスーパ―アロイコーティングを、プッシャーには薄膜で非粘着性を付与できるMRSコーティングをご提案しました。
部品の用途ごとに別々の表面処理を加工することで、溶射加工に比べて3倍まで交換寿命を延ばすことができ、ご採用いただきました。
