【事例】シリコンウエハー用マスキングテープの巻き取り部材へ付着を防ぐ非粘着コーティング

課題：既存の溶射加工では、マスキングテープ糊の付着防止効果が長持ちしなかった

解決方法：部材ごとに異なる非粘着性コーティングを処理し、部材の交換期間を長く

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表面処理の目的： 品質･稼働安定化交換・材料コスト低減スピードアップ

求められる機能： 非粘着･離型性

改善した設備・工程： 搬送

解決したかったお悩み、実現したかったこと

半導体用のシリコンウエハーを加工する際、外周部にマスキングテープを使用する場合があります。マスキングテープは糊残りしにくい粘着剤を使用していますが、テープを巻き取る装置では何度も粘着面に接するため、ローラーやプッシャーなどに粘着糊が付着し清掃や装置の再調整に時間がかかり、お困りでした。

背景／処理を選ぶ条件

お客様の設備では粘着糊の付着防止対策として、ローラーやプッシャーに溶射加工を採用されていました。溶射加工をすることで、表面が細かい凹凸になり粘着糊の付着をある程度防ぐことができましたが、しばらく使用すると糊の付着が起きてしまい、部品交換頻度において、お客様が満足されていませんでした。そのため、より非粘着性に特化した表面処理を探していました。

採用された処理

◎巻き取りローラーへの処理

＞　スーパーアロイコーティング

◎プッシャーへの処理

＞　MRSコーティング

実現できた効果

吉田SKTでは、テープのくっつき防止に効果のある表面処理を部品ごとにご提案。ローラーには耐摩耗性と非粘着性に優れるスーパ―アロイコーティングを、プッシャーには薄膜で非粘着性を付与できるMRSコーティングをご提案しました。
部品の用途ごとに別々の表面処理を加工することで、溶射加工に比べて3倍まで交換寿命を延ばすことができ、ご採用いただきました。

粘着糊の付着防止やコーティング
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